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消偏振分光棱镜


     产品描述：
      各种消偏振分光棱镜
      分光比精度高
      消偏振效果好
      光轴平行性和垂直精度高
      分光比误差小
产品介绍 参数指标 应用案例 资料下载

消偏振分光棱镜是双频激光干涉仪中的重要零件，在激光测量和高精度定位中起着至关重要的作用。其性能特征是将激光光束分成多路测量光，并且在分光后光束的性质与光源完全相同。根据分光比例，可以将分光镜分为5:5分光镜、3:7分光镜、4:6分光镜等。

5:5消偏振分光棱镜的分光比误差一般在50%±5%都能达到使用要求，我公司生产的高精度5:5分光棱镜最高分光比误差可以达到50%±5%，入射光波长一般在633nm最佳。

主要应用在，双频激光干涉仪多路同时测量中，在光刻机中有典型应用。

                      5:5分光棱镜光路示意图

  材料   K9
  平行性   <15"
  5:5分光膜入射角   45°±1.5°
  5:5消偏振分光比   Rp=50±5%，Rs=50±5%，
  Tp=50±5%，Ts=50±5%，@633 nm
  增透膜入射角   0°
  增透膜透光率   T≥99.5%，R<0.2%,@ 633 nm
  光谱 633nm最佳
   注：尺寸大小可按需定制

 

产品展示


                                                  消偏振分光棱镜（已胶合）