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双轴干涉仪


   
     产品描述：
    双轴同时测量
    任意两轴平行度达角秒级
    使用简单方便


 

 


产品介绍 参数指标 应用案例 资料下载
       双轴干涉仪，全称双轴平面镜干涉仪，是多个平面光学镜按照设计的通光路径进行高精度胶合，组成一个新的光学镜组。该双轴干涉仪，可同时测量两个位移，任意两轴间出射光线平行度精度能达到角秒级，光轴距离精度<0.1mm,使用也更加简单方便。组成的激光测量系统，测量精度能达到亚纳米级。
  任意两轴平行度   <8"
  光轴距离精度   <0.1mm
  光斑直径兼容性   6~9mm
  光学非线性   ±2nm
  温度稳定性   40nm/℃
  角度范围   俯仰或滚动角±1.5mrad@300mm，
  偏摆角±1.5mrad@300mm
  光学效率   平均30%
  固有频率   <1000hz
  尺寸大小可定制
  注：该参数指标不是固定的，根据客户需求或实际情况有所变动

产品展示


                                             双轴干涉仪


                                       双轴干涉仪外壳