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多轴平面镜干涉仪



         产品描述：
        体积小巧，设计美观
        特有的镜组胶合工艺
        满足高精度、多轴同时测量
        分辨率达到亚纳米级
        稳定性高




产品介绍 参数指标 应用案例 资料下载
          多轴平面镜干涉仪，具有光学传感器预对准、光束平行性好、非线性误差小、热漂移小等特点。可以同时满足直线度、平行度、平面度、垂直度等的组合测量或是同一度量值的不同方向测量。一个多轴测量镜组便可同时支持多个一般镜组才能完成的测量工作，减小安装体积，便于合理安排安装位置。
        客户可以根据需求定制所需的光学镜组和组件。

 任意两轴平行度  <10"
 光轴距离精度  <0.1mm
 光学非线性  ±2nm
 温度稳定性  40nm/℃
 角度范围  俯仰和滚动角±1mrad@300mm，
 偏摆角±15mrad@300mm
 光学效率  平均18%
 固有频率  <1000hz
 尺寸  可定制

 
多轴平面镜干涉仪